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用行波加热低电阻率半导体薄片和带材

Sirk.,MD 李庠

真空电子技术Issue(2)：88,18,2.
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真空电子技术Issue(2)：88,18,2.

用行波加热低电阻率半导体薄片和带材

Sirk.,MD 1李庠1

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摘要

关键词

半导体/薄片/带材/微波加热/低电阻

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

Sirk.,MD,李庠..用行波加热低电阻率半导体薄片和带材[J].真空电子技术,1991,(2):88,18,2.

真空电子技术

1002-8935

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