|国家科技期刊平台
| 注册
首页|期刊导航|真空电子技术|用行波加热低电阻率半导体带材和薄片

用行波加热低电阻率半导体带材和薄片

李痒

真空电子技术Issue(2)：P.81-87,7.
✕
真空电子技术Issue(2)：P.81-87,7.

用行波加热低电阻率半导体带材和薄片

李痒1

作者信息

  • 折叠

摘要

关键词

半导体器件/半导体带材/微波加热

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

李痒..用行波加热低电阻率半导体带材和薄片[J].真空电子技术,1991,(2):P.81-87,7.

真空电子技术

1002-8935

访问量0
|
下载量0
段落导航相关论文