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电子束蒸发Ta2O5薄膜的实验研究

黄惠芬 陈国平

真空电子技术Issue(3)：24-25,2.
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真空电子技术Issue(3)：24-25,2.

电子束蒸发Ta2O5薄膜的实验研究

黄惠芬 1陈国平1

作者信息

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摘要

关键词

电子束蒸发/Tao膜/试验

分类

信息技术与安全科学

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黄惠芬,陈国平..电子束蒸发Ta2O5薄膜的实验研究[J].真空电子技术,1991,(3):24-25,2.

真空电子技术

1002-8935

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