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用发射光谱方法研究微波ECR等离子体电离特性

吴桂林 刘延伟

大连理工大学学报1997，Vol.37Issue(2)：238-240,3.
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大连理工大学学报1997，Vol.37Issue(2)：238-240,3.

用发射光谱方法研究微波ECR等离子体电离特性

吴桂林 1刘延伟1

作者信息

  • 1. 大连理工大学三束材料改性国家重点实验室
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摘要

关键词

发射光谱/电子回旋共振/等离子体/电离

分类

数理科学

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吴桂林,刘延伟..用发射光谱方法研究微波ECR等离子体电离特性[J].大连理工大学学报,1997,37(2):238-240,3.

基金项目

国家自然科学基金 （）

大连理工大学学报

OA北大核心CSCD

1000-8608

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