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辅以动态氮离子轰击的氩离子束溅射沉积PTFE高分子膜

李有宏 龙振湖

大连理工大学学报1997，Vol.37Issue(2)：208-211,4.
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大连理工大学学报1997，Vol.37Issue(2)：208-211,4.

辅以动态氮离子轰击的氩离子束溅射沉积PTFE高分子膜

李有宏 1龙振湖1

作者信息

  • 1. 大连理工大学三束材料改性国家重点实验室
  • 折叠

摘要

关键词

薄膜/聚四氟乙烯/离子束溅射沉积/离子束轰击

分类

矿业与冶金

引用本文复制引用

李有宏,龙振湖..辅以动态氮离子轰击的氩离子束溅射沉积PTFE高分子膜[J].大连理工大学学报,1997,37(2):208-211,4.

基金项目

核工业总公司"八五"科技攻关项目 （）

大连理工大学学报

OA北大核心CSCD

1000-8608

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