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金属有机物热分解工艺制备PLZT铁电薄膜的晶化过程及其电性能研究

孙平 张良莹 姚熹

传感技术学报1995，Vol.8Issue(2)：P.63-68,6.
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传感技术学报1995，Vol.8Issue(2)：P.63-68,6.

金属有机物热分解工艺制备PLZT铁电薄膜的晶化过程及其电性能研究

孙平 1张良莹 1姚熹1

作者信息

  • 1. 西安交通大学电子材料研究室,西安市730049
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摘要

关键词

铁电薄膜/晶化过程/电性能/热分解工艺

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

孙平,张良莹,姚熹..金属有机物热分解工艺制备PLZT铁电薄膜的晶化过程及其电性能研究[J].传感技术学报,1995,8(2):P.63-68,6.

基金项目

国家自然科学基金资助项目 （）

传感技术学报

OACSCD

1004-1699

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