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等离子体聚合介质膜的感湿机理研究

马振国 杨津基 陈猛

传感技术学报1995,Vol.8Issue(3):P.10-12,3.
传感技术学报1995,Vol.8Issue(3):P.10-12,3.

等离子体聚合介质膜的感湿机理研究

马振国 1杨津基 1陈猛1

作者信息

  • 1. 清华大学电机系气体放电实验室,北京100084
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摘要

关键词

湿敏介质/等离子体聚合/湿度传感器/介质膜

分类

机械制造

引用本文复制引用

马振国,杨津基,陈猛..等离子体聚合介质膜的感湿机理研究[J].传感技术学报,1995,8(3):P.10-12,3.

基金项目

国家自然科学基金资助项目 ()

传感技术学报

OACSCD

1004-1699

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