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东南大学学报：自然科学版
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GaAs／Si弹性形变及其应力的理论模型
GaAs／Si弹性形变及其应力的理论模型
钱文生
李明祥
夏海良
魏同立
东南大学学报：自然科学版
1995，Vol.25
Issue(6)：P.136-139,4.
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东南大学学报：自然科学版
1995，Vol.25
Issue(6)
：P.136-139,4.
GaAs／Si弹性形变及其应力的理论模型
钱文生
1
李明祥
1
夏海良
1
魏同立
1
作者信息
1.
东南大学微电子中心
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摘要
关键词
砷化镓
/
硅
/
弹性形变
/
应力
/
薄膜
分类
信息技术与安全科学
引用本文
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钱文生,李明祥,夏海良,魏同立..GaAs／Si弹性形变及其应力的理论模型[J].东南大学学报：自然科学版,1995,25(6):P.136-139,4.
东南大学学报：自然科学版
OA
CSCD
ISSN：
1001-0505
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