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无声放电等离子体及其应用

凌一鸣

电子器件1997，Vol.20Issue(3)：8-19,12.
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电子器件1997，Vol.20Issue(3)：8-19,12.

无声放电等离子体及其应用

凌一鸣1

作者信息

  • 1. 东南大学电子工程系
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摘要

关键词

无声放电/低温等离子体/气体放电

分类

信息技术与安全科学

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凌一鸣..无声放电等离子体及其应用[J].电子器件,1997,20(3):8-19,12.

电子器件

1005-9490

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