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用调制光反射方法测量薄膜的厚度

郭元元 徐明华

南京大学学报：自然科学版1998，Vol.34Issue(1)：79-84,6.
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南京大学学报：自然科学版1998，Vol.34Issue(1)：79-84,6.

用调制光反射方法测量薄膜的厚度

郭元元 1徐明华1

作者信息

  • 1. 南京大学声学研究所
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摘要

关键词

调制光反射/薄膜/厚度/测量

分类

数理科学

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郭元元,徐明华..用调制光反射方法测量薄膜的厚度[J].南京大学学报：自然科学版,1998,34(1):79-84,6.

南京大学学报：自然科学版

0469-5097

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