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光电高精度全场形位检测系统的研究
光电高精度全场形位检测系统的研究
张广军
刘惠彬
罗先和
李行善
计量学报
1994，Vol.15
Issue(4)：P.292-295,4.
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计量学报
1994，Vol.15
Issue(4)
：P.292-295,4.
光电高精度全场形位检测系统的研究
张广军
1
刘惠彬
1
罗先和
1
李行善
1
作者信息
1.
北京航空航天大学
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摘要
关键词
激光衍射
/
CCD
/
光电高精度全场形位检测系统
/
产品零件
/
形位检测
分类
矿业与冶金
引用本文
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张广军,刘惠彬,罗先和,李行善..光电高精度全场形位检测系统的研究[J].计量学报,1994,15(4):P.292-295,4.
计量学报
OA
CSCD
ISSN：
1000-1158
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