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声表面波器件薄膜电极脱落的电子探针分析

阮世池

电子科技大学学报1998，Vol.27Issue(6)：605-608,4.
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电子科技大学学报1998，Vol.27Issue(6)：605-608,4.

声表面波器件薄膜电极脱落的电子探针分析

阮世池1

作者信息

  • 1. 成都电子科技大学材料微观分析中心
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摘要

关键词

电子探针/显微分析/薄膜电极/声表面波器件

分类

信息技术与安全科学

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阮世池..声表面波器件薄膜电极脱落的电子探针分析[J].电子科技大学学报,1998,27(6):605-608,4.

电子科技大学学报

OA北大核心CSCD

1001-0548

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