|国家科技期刊平台
| 注册
首页|期刊导航|辽宁大学学报：自然科学版|B＋注入Si的辐射损伤和退火特性

B＋注入Si的辐射损伤和退火特性

马德录 李淑侠

辽宁大学学报：自然科学版1998，Vol.25Issue(3)：253-257,5.
✕
辽宁大学学报：自然科学版1998，Vol.25Issue(3)：253-257,5.

B＋注入Si的辐射损伤和退火特性

马德录 1李淑侠1

作者信息

  • 1. 辽宁大学物理系
  • 折叠

摘要

关键词

离子注入/辐射损伤/退火特性/硅/硼离子

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

马德录,李淑侠..B＋注入Si的辐射损伤和退火特性[J].辽宁大学学报：自然科学版,1998,25(3):253-257,5.

辽宁大学学报：自然科学版

1000-5846

访问量0
|
下载量0
段落导航相关论文