激光技术1996，Vol.20Issue(3)：P.164-167,4.
用准分子激光CVD制作SnO_2微透镜及其阵列的技术研究
王庆亚 1马力 1赵方海 1郑伟 1张玉书 1高鼎三1
作者信息
- 1. 吉林大学电子工程系,集成光电子国家重点实验室吉林大学实验区
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摘要
关键词
准分子激光/CVD/微透镜/微透镜阵列/二氧化锡分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
王庆亚,马力,赵方海,郑伟,张玉书,高鼎三..用准分子激光CVD制作SnO_2微透镜及其阵列的技术研究[J].激光技术,1996,20(3):P.164-167,4.
