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CVD技术在超硬涂层制备中的应用

杨国伟

表面技术1995，Vol.24Issue(5)：25-27,3.
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表面技术1995，Vol.24Issue(5)：25-27,3.

CVD技术在超硬涂层制备中的应用

杨国伟1

作者信息

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摘要

关键词

CVD/超硬涂层/类金刚石/薄膜/金刚石/立方氮化硼

分类

数理科学

引用本文复制引用

杨国伟..CVD技术在超硬涂层制备中的应用[J].表面技术,1995,24(5):25-27,3.

基金项目

湘潭大学科研基金资助 （）

表面技术

1001-3660

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