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用反射椭偏术测膜厚实验中存在的问题及解决办法

孙兆奇 曹卓良

安徽大学学报：自然科学版1997，Vol.21Issue(2)：38-41,4.
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安徽大学学报：自然科学版1997，Vol.21Issue(2)：38-41,4.

用反射椭偏术测膜厚实验中存在的问题及解决办法

孙兆奇 1曹卓良1

作者信息

  • 1. 安徽大学物理系
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摘要

关键词

反射椭偏术/薄膜/厚度/测量

分类

数理科学

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孙兆奇,曹卓良..用反射椭偏术测膜厚实验中存在的问题及解决办法[J].安徽大学学报：自然科学版,1997,21(2):38-41,4.

安徽大学学报：自然科学版

1000-2162

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