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隧道加速度计的发展概况

史建伟 陈德英

电子器件1999，Vol.22Issue(3)：P.188-193,6.
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电子器件1999，Vol.22Issue(3)：P.188-193,6.

隧道加速度计的发展概况

史建伟 1陈德英1

作者信息

  • 1. 东南大学微电子中心,南京210096
  • 折叠

摘要

关键词

微加速度计/微机械加工/隧道加速度计/传感器

分类

机械制造

引用本文复制引用

史建伟,陈德英..隧道加速度计的发展概况[J].电子器件,1999,22(3):P.188-193,6.

电子器件

OACSCD

1005-9490

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