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电工技术学报
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真空电弧镀膜中等离子体参数的实验研究
真空电弧镀膜中等离子体参数的实验研究
王浩
韦伦布
邹积岩
程札椿
电工技术学报
Issue(1):P.67-70,47,5.
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电工技术学报
Issue(1)
:P.67-70,47,5.
真空电弧镀膜中等离子体参数的实验研究
王浩
1
韦伦布
1
邹积岩
1
程札椿
1
作者信息
1.
北京大学,华中理工大学
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摘要
关键词
真空电弧
/
真空镀膜
/
等离子体
/
参数
分类
信息技术与安全科学
引用本文
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王浩,韦伦布,邹积岩,程札椿..真空电弧镀膜中等离子体参数的实验研究[J].电工技术学报,1995,(1):P.67-70,47,5.
基金项目
国家教委回国人员基金 ()
电工技术学报
OA
北大核心
CSCD
ISSN:
1000-6753
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