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真空电弧镀膜中等离子体参数的实验研究

王浩 韦伦布 邹积岩 程札椿

电工技术学报Issue(1):P.67-70,47,5.
电工技术学报Issue(1):P.67-70,47,5.

真空电弧镀膜中等离子体参数的实验研究

王浩 1韦伦布 1邹积岩 1程札椿1

作者信息

  • 1. 北京大学,华中理工大学
  • 折叠

摘要

关键词

真空电弧/真空镀膜/等离子体/参数

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

王浩,韦伦布,邹积岩,程札椿..真空电弧镀膜中等离子体参数的实验研究[J].电工技术学报,1995,(1):P.67-70,47,5.

基金项目

国家教委回国人员基金 ()

电工技术学报

OA北大核心CSCD

1000-6753

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