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溅射ZnO薄膜的显微结构

黄毓虹 罗维根

无机材料学报1990，Vol.5Issue(1)：43-48,6.
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无机材料学报1990，Vol.5Issue(1)：43-48,6.

溅射ZnO薄膜的显微结构

黄毓虹 1罗维根1

作者信息

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摘要

关键词

氧化锌/薄膜/溅射沉积/显微结构

分类

数理科学

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黄毓虹,罗维根..溅射ZnO薄膜的显微结构[J].无机材料学报,1990,5(1):43-48,6.

基金项目

国家自然科学基金5860366 （）

无机材料学报

OACSCD

1000-324X

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