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双岛结构硅压力传感器的非线性内补偿研究

吴宪平 胡美凤

传感技术学报1998，Vol.11Issue(1)：1-6,6.
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传感技术学报1998，Vol.11Issue(1)：1-6,6.

双岛结构硅压力传感器的非线性内补偿研究

吴宪平 1胡美凤1

作者信息

  • 1. 复旦大学电子工程系
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摘要

关键词

压力传感器/硅/非线性补偿

分类

机械制造

引用本文复制引用

吴宪平,胡美凤..双岛结构硅压力传感器的非线性内补偿研究[J].传感技术学报,1998,11(1):1-6,6.

基金项目

中科院传感技术国家实验室和国家"八五"重点科技攻关721-0l项目的资助 （）

传感技术学报

OACSCD

1004-1699

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