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等离子作加工中的计算机建模

刘之景 刘晨

表面技术1999，Vol.28Issue(2)：P.26-28,3.
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表面技术1999，Vol.28Issue(2)：P.26-28,3.

等离子作加工中的计算机建模

刘之景 1刘晨2

作者信息

  • 1. 中国科学技术大学天文与应用物理系,合肥230026
  • 2. 中国科学技术大学电子工程和信息科学系,合肥230027
  • 折叠

摘要

关键词

沉积/刻蚀/计算机建模

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

刘之景,刘晨..等离子作加工中的计算机建模[J].表面技术,1999,28(2):P.26-28,3.

表面技术

1001-3660

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