|国家科技期刊平台
| 注册
首页|期刊导航|电子器件|用硅的各向异性腐蚀工艺制备发射硅尖阵列

用硅的各向异性腐蚀工艺制备发射硅尖阵列

唐国洪 陈德英 周全生 袁景

电子器件1994，Vol.17Issue(4)：P.6-10,5.
✕
电子器件1994，Vol.17Issue(4)：P.6-10,5.

用硅的各向异性腐蚀工艺制备发射硅尖阵列

唐国洪 1陈德英 1周全生 1袁景1

作者信息

  • 1. 东南大学微电子中心
  • 折叠

摘要

关键词

微电子器件/硅/发射硅光阵列/各向异性腐蚀

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

唐国洪,陈德英,周全生,袁景..用硅的各向异性腐蚀工艺制备发射硅尖阵列[J].电子器件,1994,17(4):P.6-10,5.

电子器件

1005-9490

访问量0
|
下载量0
段落导航相关论文