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氧化－削尖自对准多层金属栅的工艺研究

朱长纯 淮永健 吴春瑜 李毓民

电子器件1994，Vol.17Issue(3)：P.47-50,4.
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电子器件1994，Vol.17Issue(3)：P.47-50,4.

氧化－削尖自对准多层金属栅的工艺研究

朱长纯 1淮永健 1吴春瑜 1李毓民1

作者信息

  • 1. 西安交通大学电子工程系
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摘要

关键词

场发射阴极/栅极/氧化/工艺

分类

数理科学

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朱长纯,淮永健,吴春瑜,李毓民..氧化－削尖自对准多层金属栅的工艺研究[J].电子器件,1994,17(3):P.47-50,4.

基金项目

国家自然科学基金 （）

电子器件

1005-9490

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