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亚微米门极孔径VMED

夏曼 赵彤

电子器件1994，Vol.17Issue(3)：P.103-103,1.
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电子器件1994，Vol.17Issue(3)：P.103-103,1.

亚微米门极孔径VMED

夏曼 1赵彤1

作者信息

  • 1. 河北半导体研究所
  • 折叠

摘要

关键词

真空微电子器件/门极孔径/工艺

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

夏曼,赵彤..亚微米门极孔径VMED[J].电子器件,1994,17(3):P.103-103,1.

电子器件

1005-9490

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