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亚微米门极孔直径真空微电子器件

刘卫东 罗恩泽 赵彤

电子器件1994，Vol.17Issue(3)：P.66-68,3.
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电子器件1994，Vol.17Issue(3)：P.66-68,3.

亚微米门极孔直径真空微电子器件

刘卫东 1罗恩泽 1赵彤1

作者信息

  • 1. 西北工业大学,西安电子科技大学
  • 折叠

摘要

关键词

真空微电子器件/亚微米/门极孔径/工艺

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

刘卫东,罗恩泽,赵彤..亚微米门极孔直径真空微电子器件[J].电子器件,1994,17(3):P.66-68,3.

基金项目

国家自然科学基金 （）

电子器件

1005-9490

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