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InP－MIS界面特性的研究

陈清法 谢孟贤

电子科技大学学报1994，Vol.23Issue(6)：P.615-619,5.
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电子科技大学学报1994，Vol.23Issue(6)：P.615-619,5.

InP－MIS界面特性的研究

陈清法 1谢孟贤1

作者信息

  • 1. 电子科技大学微电子科学与工程系
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摘要

关键词

InP-MIS结构/界面陷阱/半导体器件/磷化铟

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

陈清法,谢孟贤..InP－MIS界面特性的研究[J].电子科技大学学报,1994,23(6):P.615-619,5.

基金项目

电子部预研基金 （）

电子科技大学学报

OA北大核心CSCD

1001-0548

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