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真空微电子荧光平板显示器件的实验研究

刘杰明 李志能 陈秀峰

电子器件1994，Vol.17Issue(3)：P.105-109,5.
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电子器件1994，Vol.17Issue(3)：P.105-109,5.

真空微电子荧光平板显示器件的实验研究

刘杰明 1李志能 1陈秀峰1

作者信息

  • 1. 浙江大学信息与电子工程学系
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摘要

关键词

反应离子刻蚀/真空微电子学/荧光平板显示

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

刘杰明,李志能,陈秀峰..真空微电子荧光平板显示器件的实验研究[J].电子器件,1994,17(3):P.105-109,5.

电子器件

1005-9490

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