大连理工大学学报1995，Vol.35Issue(5)：P.623-627,5.
离子束辅助沉积制备氮化钽薄膜
梅显秀 1张庆瑜 1马腾才 1杨大智 1陈遐 1王煜明 1滕凤恩1
作者信息
- 1. 三束材料改性国家重点实验室,大连理工大学分部,吉林大学材料科学系
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摘要
关键词
薄膜/氮化钽薄膜/离子束辅助沉积/制备分类
数理科学引用本文复制引用
梅显秀,张庆瑜,马腾才,杨大智,陈遐,王煜明,滕凤恩..离子束辅助沉积制备氮化钽薄膜[J].大连理工大学学报,1995,35(5):P.623-627,5.基金项目
国家自然科学基金资助项目三束材料改性国家重点实验室资助项目 （）
