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工艺参数对氧化镍薄膜结晶结构的影响

张旭苹 陈国平 吕忆农

电子器件1995，Vol.18Issue(3)：P.184-190,7.
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电子器件1995，Vol.18Issue(3)：P.184-190,7.

工艺参数对氧化镍薄膜结晶结构的影响

张旭苹 1陈国平 1吕忆农1

作者信息

  • 1. 东南大学薄膜研究所,南京化工学院材料科学与工程系
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摘要

关键词

氧化镍/薄膜/结晶结构/工艺参数

分类

信息技术与安全科学

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张旭苹,陈国平,吕忆农..工艺参数对氧化镍薄膜结晶结构的影响[J].电子器件,1995,18(3):P.184-190,7.

电子器件

1005-9490

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