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掺铝ZnO半导体厚膜对TMA的敏感特性

石蔼如 贾云发

无机材料学报1996，Vol.11Issue(2)：P.368-370,3.
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无机材料学报1996，Vol.11Issue(2)：P.368-370,3.

掺铝ZnO半导体厚膜对TMA的敏感特性

石蔼如 1贾云发1

作者信息

  • 1. 青岛大学物理系
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摘要

关键词

厚膜/TMA/敏感特性/氧化锌/半导体

分类

信息技术与安全科学

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石蔼如,贾云发..掺铝ZnO半导体厚膜对TMA的敏感特性[J].无机材料学报,1996,11(2):P.368-370,3.

无机材料学报

OA北大核心CSCD

1000-324X

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