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扫描电子声显微镜的成像机理及其应用

张冰阳 江福明 殷庆瑞

无机材料学报1996，Vol.11Issue(2)：P.207-213,7.
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无机材料学报1996，Vol.11Issue(2)：P.207-213,7.

扫描电子声显微镜的成像机理及其应用

张冰阳 1江福明 1殷庆瑞1

作者信息

  • 1. 中国科学院上海硅酸盐研究所无机功能材料实验室
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摘要

关键词

SEAM/SEM/光声效应/缺陷检测/成像机理

分类

信息技术与安全科学

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张冰阳,江福明,殷庆瑞..扫描电子声显微镜的成像机理及其应用[J].无机材料学报,1996,11(2):P.207-213,7.

基金项目

国家自然科学基金 （）

无机材料学报

OA北大核心CSCD

1000-324X

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