|国家科技期刊平台
| 注册
首页|期刊导航|物理学报|1MeVSi~＋衬底加温注入Al＿（0．3）Ga＿（0．7）As／GaAs超晶格和GaAs的晶格损伤研究

1MeVSi~＋衬底加温注入Al＿（0．3）Ga＿（0．7）As／GaAs超晶格和GaAs的晶格损伤研究

李岱青 宫宝安 万亚 朱沛然 周俊思 徐天冰 穆善明 赵清太 王忠烈

物理学报1994，Vol.43Issue(8)：P.1311-1317,7.
✕
物理学报1994，Vol.43Issue(8)：P.1311-1317,7.

1MeVSi~＋衬底加温注入Al＿（0．3）Ga＿（0．7）As／GaAs超晶格和GaAs的晶格损伤研究

李岱青 1宫宝安 1万亚 1朱沛然 1周俊思 1徐天冰 1穆善明 1赵清太 1王忠烈1

作者信息

  • 1. 烟台师范学院物理系,中国科学院物理研究所离子束实验室,中国科学院半导体研究所,北京大学微电子研究所
  • 折叠

摘要

关键词

超晶格/离子注入/损伤/MeV能区

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

李岱青,宫宝安,万亚,朱沛然,周俊思,徐天冰,穆善明,赵清太,王忠烈..1MeVSi~＋衬底加温注入Al＿（0．3）Ga＿（0．7）As／GaAs超晶格和GaAs的晶格损伤研究[J].物理学报,1994,43(8):P.1311-1317,7.

基金项目

山东省教育委员会科研处及北京中关村地区联合分析测试基金 （）

物理学报

OA北大核心CSCD

1000-3290

访问量0
|
下载量0
段落导航相关论文