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石英晶体薄膜厚度差动测量技术的研究

郑德忠 王晓维 史锦珊 翟姝红

传感技术学报1998，Vol.11Issue(3)：P.49-52,4.
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传感技术学报1998，Vol.11Issue(3)：P.49-52,4.

石英晶体薄膜厚度差动测量技术的研究

郑德忠 1王晓维 1史锦珊 1翟姝红1

作者信息

  • 1. 燕山大学,河北秦皇岛市066004
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摘要

关键词

石英晶体/薄膜/厚度测量

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

郑德忠,王晓维,史锦珊,翟姝红..石英晶体薄膜厚度差动测量技术的研究[J].传感技术学报,1998,11(3):P.49-52,4.

传感技术学报

OACSCD

1004-1699

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