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锗上等离子体氧化,氮化膜的制备

徐志元 刘春荣

中外技术情报Issue(10)：16-17,2.
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中外技术情报Issue(10)：16-17,2.

锗上等离子体氧化,氮化膜的制备

徐志元 1刘春荣1

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摘要

关键词

集成电路/等离子件/锗/氧化/氮化

分类

信息技术与安全科学

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徐志元,刘春荣..锗上等离子体氧化,氮化膜的制备[J].中外技术情报,1993,(10):16-17,2.

中外技术情报

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