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PEMSIP法Ti_2N和TiN两相涂层工艺研究

王玉魁李秀兰王秀敏高路斯廖勇泉韩会民

大连理工大学学报1996，Vol.36Issue(1)：P.41-46,6.

王玉魁 ¹李秀兰 ¹王秀敏 ¹高路斯 ¹廖勇泉 ¹韩会民¹

作者信息

等离子体/离子镀/氮化钛/磁控溅射/涂层

矿业与冶金

王玉魁,李秀兰,王秀敏,高路斯,廖勇泉,韩会民..PEMSIP法Ti_2N和TiN两相涂层工艺研究[J].大连理工大学学报,1996,36(1):P.41-46,6.

三束材料改性国家重点实验室资助（）

OA北大核心CSCD

ISSN：1000-8608

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