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氩离子束溅射沉积PTFE高分子膜

李有宏 宫泽祥 龙振湖 纪纯新

大连理工大学学报1996，Vol.36Issue(3)：P.279-282,4.
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大连理工大学学报1996，Vol.36Issue(3)：P.279-282,4.

氩离子束溅射沉积PTFE高分子膜

李有宏 1宫泽祥 1龙振湖 1纪纯新2

作者信息

  • 1. 三束材料表面改性国家重点实验室大连理工大学分部
  • 2. 中国科学院大连化学物理研究所
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摘要

关键词

离子束/溅射/真空沉积/薄膜/聚四氟乙烯/塑料

分类

化学化工

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李有宏,宫泽祥,龙振湖,纪纯新..氩离子束溅射沉积PTFE高分子膜[J].大连理工大学学报,1996,36(3):P.279-282,4.

大连理工大学学报

OA北大核心CSCD

1000-8608

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