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拖动分子泵的抽速

储继国

真空电子技术Issue(4)：8-13,6.
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真空电子技术Issue(4)：8-13,6.

拖动分子泵的抽速

储继国1

作者信息

  • 1. 深圳大学应用物理系
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摘要

关键词

拖动分子泵/抽速/双拖泵/真空泵

分类

通用工业技术

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储继国..拖动分子泵的抽速[J].真空电子技术,1998,(4):8-13,6.

真空电子技术

1002-8935

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