|国家科技期刊平台
| 注册
首页|期刊导航|表面技术|采用热丝CVD法在多种基材上沉积金刚石薄膜

采用热丝CVD法在多种基材上沉积金刚石薄膜

苏革 黄荣芳

表面技术1998，Vol.27Issue(1)：5-7,3.
✕
表面技术1998，Vol.27Issue(1)：5-7,3.

采用热丝CVD法在多种基材上沉积金刚石薄膜

苏革 1黄荣芳1

作者信息

  • 1. 中国科学院金属研究所
  • 折叠

摘要

关键词

热丝CVD法/沉积/金刚石薄膜/镀膜

分类

化学化工

引用本文复制引用

苏革,黄荣芳..采用热丝CVD法在多种基材上沉积金刚石薄膜[J].表面技术,1998,27(1):5-7,3.

基金项目

国家自然科学基金资助项目 （）

表面技术

1001-3660

访问量0
|
下载量0
段落导航相关论文