|国家科技期刊平台
| 注册
首页|期刊导航|真空电子技术|辅助外加热直流等离子体中放电参数的影响

辅助外加热直流等离子体中放电参数的影响

谢雁 赵程

真空电子技术Issue(3)：11-13,3.
✕
真空电子技术Issue(3)：11-13,3.

辅助外加热直流等离子体中放电参数的影响

谢雁 1赵程1

作者信息

  • 1. 青岛化工学院等离子体表面技术研究所
  • 折叠

摘要

关键词

等离子体/沉积/辅助加热

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

谢雁,赵程..辅助外加热直流等离子体中放电参数的影响[J].真空电子技术,1997,(3):11-13,3.

真空电子技术

1002-8935

访问量0
|
下载量0
段落导航相关论文