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激光反馈干涉－计算机细分的小位移测量

李天初 方占军 王民明 谭小地

计量学报1995，Vol.16Issue(3)：P.196-199,4.
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计量学报1995，Vol.16Issue(3)：P.196-199,4.

激光反馈干涉－计算机细分的小位移测量

李天初 1方占军 1王民明 1谭小地1

作者信息

  • 1. 中国计量科学研究院,西安工业学院
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摘要

关键词

干涉测量/位移测量/激光开关/分辨率

分类

机械制造

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李天初,方占军,王民明,谭小地..激光反馈干涉－计算机细分的小位移测量[J].计量学报,1995,16(3):P.196-199,4.

计量学报

OACSCD

1000-1158

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