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低气压高频氩电中电子能量分布的研究

王德具 郭宝海

大连理工大学学报1991，Vol.31Issue(4)：389-392,4.
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大连理工大学学报1991，Vol.31Issue(4)：389-392,4.

低气压高频氩电中电子能量分布的研究

王德具 1郭宝海1

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摘要

关键词

高频放电/气体放电/能量分布/氩

分类

数理科学

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王德具,郭宝海..低气压高频氩电中电子能量分布的研究[J].大连理工大学学报,1991,31(4):389-392,4.

大连理工大学学报

OACSCD

1000-8608

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