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分子泵真空系统与扩散泵真空系统

钱锋

真空电子技术Issue(6)：52-54,3.
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真空电子技术Issue(6)：52-54,3.

分子泵真空系统与扩散泵真空系统

钱锋1

作者信息

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摘要

关键词

分子泵/真空系统/扩散泵

分类

通用工业技术

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钱锋..分子泵真空系统与扩散泵真空系统[J].真空电子技术,1992,(6):52-54,3.

真空电子技术

OA北大核心

1002-8935

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