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基片温度对非晶碳硅薄膜电导的影响

罗佳慧 姜节俭

电子科技大学学报1991，Vol.20Issue(4)：436-440,5.
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电子科技大学学报1991，Vol.20Issue(4)：436-440,5.

基片温度对非晶碳硅薄膜电导的影响

罗佳慧 1姜节俭1

作者信息

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摘要

关键词

基片温度/碳硅薄膜/电导/相关性

分类

信息技术与安全科学

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罗佳慧,姜节俭..基片温度对非晶碳硅薄膜电导的影响[J].电子科技大学学报,1991,20(4):436-440,5.

基金项目

机电部军事预研基金 （）

电子科技大学学报

OACSCD

1001-0548

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