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用微电子测试结构研究超薄栅介质的可靠性

张安康

电子器件1991，Vol.14Issue(4)：8-17,10.
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电子器件1991，Vol.14Issue(4)：8-17,10.

用微电子测试结构研究超薄栅介质的可靠性

张安康1

作者信息

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摘要

关键词

栅介质/可靠性/微电子测试/VLSI

分类

信息技术与安全科学

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张安康..用微电子测试结构研究超薄栅介质的可靠性[J].电子器件,1991,14(4):8-17,10.

电子器件

1005-9490

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