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硅片的直接键合

新保優 詹娟

电子器件1991，Vol.14Issue(1)：P.57-59,3.
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电子器件1991，Vol.14Issue(1)：P.57-59,3.

硅片的直接键合

新保優 1詹娟1

作者信息

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摘要

关键词

硅片/直接键合

分类

信息技术与安全科学

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新保優,詹娟..硅片的直接键合[J].电子器件,1991,14(1):P.57-59,3.

电子器件

1005-9490

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