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热蒸镀镀膜机膜厚均匀性问题

唐怡 魏明逊

云南师范大学学报：自然科学版1992，Vol.12Issue(1)：18-22,5.
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云南师范大学学报：自然科学版1992，Vol.12Issue(1)：18-22,5.

热蒸镀镀膜机膜厚均匀性问题

唐怡 1魏明逊1

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摘要

关键词

热蒸镀/镀膜/膜厚均匀性/蒸发源

分类

数理科学

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唐怡,魏明逊..热蒸镀镀膜机膜厚均匀性问题[J].云南师范大学学报：自然科学版,1992,12(1):18-22,5.

云南师范大学学报：自然科学版

1007-9793

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