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物理气相沉积法沉积类金刚石膜时触发电路的设计

袁安富 程仲元 王珉

江苏机械制造与自动化Issue(4)：P.37-38,2.
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江苏机械制造与自动化Issue(4)：P.37-38,2.

物理气相沉积法沉积类金刚石膜时触发电路的设计

袁安富 1程仲元 1王珉1

作者信息

  • 1. 南京航空航天大学机电学院,210016
  • 折叠

摘要

关键词

类金刚石膜/PVD/触发电路/设计

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

袁安富,程仲元,王珉..物理气相沉积法沉积类金刚石膜时触发电路的设计[J].江苏机械制造与自动化,1999,(4):P.37-38,2.

江苏机械制造与自动化

1007-760X

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