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氢气对含金刚石碳薄膜场发射性能的影响
氢气对含金刚石碳薄膜场发射性能的影响
庄大明
黄蕙芬
电子器件
1998,Vol.21
Issue(2):67-73,7.
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电子器件
1998,Vol.21
Issue(2)
:67-73,7.
氢气对含金刚石碳薄膜场发射性能的影响
庄大明
1
黄蕙芬
1
作者信息
1.
东南大学电子工程系
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关键词
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/
场致发射
/
金刚石薄膜
/
磁控溅射
分类
信息技术与安全科学
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庄大明,黄蕙芬..氢气对含金刚石碳薄膜场发射性能的影响[J].电子器件,1998,21(2):67-73,7.
基金项目
国家自然科学基金 ()
电子器件
ISSN:
1005-9490
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