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氢气对含金刚石碳薄膜场发射性能的影响

庄大明 黄蕙芬

电子器件1998,Vol.21Issue(2):67-73,7.
电子器件1998,Vol.21Issue(2):67-73,7.

氢气对含金刚石碳薄膜场发射性能的影响

庄大明 1黄蕙芬1

作者信息

  • 1. 东南大学电子工程系
  • 折叠

摘要

关键词

平板显示/场致发射/金刚石薄膜/磁控溅射

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

庄大明,黄蕙芬..氢气对含金刚石碳薄膜场发射性能的影响[J].电子器件,1998,21(2):67-73,7.

基金项目

国家自然科学基金 ()

电子器件

1005-9490

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