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硅基底萍膜波导在VLSI光互连中的应用研究

祖继锋 余宽豪

高技术通讯1992，Vol.2Issue(6)：1-4,4.
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高技术通讯1992，Vol.2Issue(6)：1-4,4.

硅基底萍膜波导在VLSI光互连中的应用研究

祖继锋 1余宽豪1

作者信息

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摘要

关键词

硅基底/光波导/超大规模/集成电路

分类

信息技术与安全科学

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祖继锋,余宽豪..硅基底萍膜波导在VLSI光互连中的应用研究[J].高技术通讯,1992,2(6):1-4,4.

高技术通讯

1002-0470

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