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用离子束溅射法制备X射线多层膜的实验和工艺

马月英

光学机械Issue(6)：85-90,6.

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光学机械Issue(6)：85-90,6.

用离子束溅射法制备X射线多层膜的实验和工艺

马月英¹

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摘要

关键词

离子束溅射/X射线/多层膜/镀膜/衍射仪

分类

信息技术与安全科学

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马月英..用离子束溅射法制备X射线多层膜的实验和工艺[J].光学机械,1991,(6):85-90,6.

光学机械

ISSN：1004-8081

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